FSM uporabljajo kovinske (aluminij ali berilij) ali substrate iz silicijevega karbida, odvisno od posebnih zahtev aplikacije.Zagotovimo lahko ogledala s skoraj vsemi zahtevami glede premazov, od osnovnih kovinskih premazov do dielektričnih premazov z visoko odbojnostjo, zasnovanih za uporabo visokoenergijskih laserjev (HEL).BlueHalo FSM zagotavljajo velik pospešek;>10.000 radianov/s2 za naš FSM razred 1”-2”.Naši FSM-ji dosegajo visoko pasovno širino (>1 kHz optično ali pozicijsko, odvisno od velikosti) in zagotavljajo nizko tresenje <1 µrad.
Velikost ogledala | 4 palca | 6 palcev | 8 palcev | 10 palcev | >10 palcev | 4 palca | 6 palcev | 8 palcev | 10 palcev | >10 palcev |
Resolucija | 1~3μrad | 3~5μrad | 1~3μrad | |||||||
Pasovna širina zaprte zanke | 100~300Hz(@1% potovanja) | 10 ~ 200Hz(@1% potovanja) | ||||||||
Odziv po korakih | 4~10ms(@1% potovanja) | 3 ~ 30 ms(@1 % potovanja) | ||||||||
Razpon kota | ≤ ±25mrad | |||||||||
Ponovljivost | ≤±5μrad | ≤±3 ~ ±10μrad | ||||||||
Delovna temperatura | -40 ℃ ~ 70 ℃ | |||||||||
Temperatura shranjevanja(℃) | -55 ℃ ~ 85 ℃ | |||||||||
Proti vibracijam | GJB 150.16A-2009 | |||||||||
Proti udarcem | GJB 150.18A-2009 |