Specifikacija | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (zračno uležajena tirnica) |
Vrsta motorja | Trifazni motor brez železa | Motor z zvočno tuljavo+ |
Resolucija | Privzeta digitalna količina 100 nm | 1vpp do 5nm |
Potisk motorja | Neprekinjeno 60N/vrh 210N | Neprekinjeno 60N/vrh 210N |
Najmanjša velikost koraka [nm] | 200nm | 100nm |
Hod [mm] | 200×200 | 10 |
Ponovljivost [um] | ±0,3 | |
Natančnost položaja [um] | ±1 | ±0,5 |
Ravnost [um] | 10um | 5um |
Naravnost [um] | 1um | 1um |
Največja hitrost [mm/s] | 500 mm/s | 30 mm/s |
Nosilnost [kg] | 5 kg (os Z s pnevmatsko uravnoteženo utežjo s konstantno silo) |